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邊緣刻蝕及去PSG機(jī)
邊緣刻蝕及去PSG機(jī)
特點(diǎn):通過高可靠進(jìn)程降低碎片率有效減少化學(xué)藥品使用量預(yù)留擴(kuò)展工藝借口,可自由進(jìn)行工藝改進(jìn)和升級(jí)擁有完善的過程監(jiān)控系統(tǒng)和友好的可視化操作界面自動(dòng)補(bǔ)充藥液實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定過程控制高擴(kuò)展性模塊制程線C采用獨(dú)特脈涌技術(shù),通過表面張力控制抑制翻液量,達(dá)到良好的邊緣刻蝕效果規(guī)格:軌道數(shù)量:8道硅片尺寸:125mm或15
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邊緣刻蝕及去PSG機(jī)
特點(diǎn):通過高可靠進(jìn)程降低碎片率有效減少化學(xué)藥品使用量預(yù)留擴(kuò)展工藝借口,可自由進(jìn)行工藝改進(jìn)和升級(jí)擁有完善的過程監(jiān)控系統(tǒng)和友好的可視化操作界面自動(dòng)補(bǔ)充藥液實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定過程控制高擴(kuò)展性模塊制程線C采用獨(dú)特脈涌技術(shù),通過表面張力控制抑制翻液量,達(dá)到良好的邊緣刻蝕效果規(guī)格:軌道數(shù)量:5道硅片尺寸:125mm或15
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